半導(dǎo)體車間恒溫恒濕機(jī)
半導(dǎo)體車間恒溫恒濕機(jī)產(chǎn)品詳細(xì)信息:半導(dǎo)體生產(chǎn)是對(duì)環(huán)境要求非常嚴(yán)格的,溫度必須控制20到25度之間,空氣濕度則是要求在45%到55%RH之間,超過(guò)55%,那么冷卻水的水管上就會(huì)有結(jié)露景象出現(xiàn),一旦水珠掉落到精細(xì)裝置或許是電路上,就會(huì)引發(fā)種種事項(xiàng),導(dǎo)致產(chǎn)物質(zhì)量降落不說(shuō),搞欠好還會(huì)出現(xiàn)嚴(yán)重的安全生產(chǎn)事項(xiàng)。
除此之外,溫度變化也會(huì)對(duì)半導(dǎo)體的生產(chǎn)造成影響。我們知道不管是什么物體都有熱脹冷縮現(xiàn)象,這種現(xiàn)象對(duì)于精密儀器加工來(lái)說(shuō)是非常致命的,因?yàn)槌霈F(xiàn)一丁點(diǎn)的溫度變化都會(huì)出現(xiàn)熱脹冷縮,雖然只有幾個(gè)微米的變動(dòng),但是對(duì)于產(chǎn)品來(lái)說(shuō)就是不合格了。發(fā)展到現(xiàn)在,半導(dǎo)體的工藝差已經(jīng)到了納米級(jí)別,你結(jié)果出現(xiàn)的微米級(jí)別的變動(dòng),這變動(dòng)可就大的不得了,產(chǎn)品質(zhì)量不被影響那就怪了。
那么該怎么控制好半導(dǎo)體車間的溫濕度呢?其實(shí)很簡(jiǎn)單,那就是使用恒溫恒濕機(jī),這是一種專業(yè)控制溫濕度的設(shè)備,對(duì)溫濕度的控制很精準(zhǔn),能夠控制好半導(dǎo)體無(wú)塵車間的溫濕度,確保半導(dǎo)體車間的溫濕度變化不會(huì)影響生產(chǎn)。恒溫恒濕機(jī),控制溫濕度精確,售后及時(shí)周到,是半導(dǎo)體無(wú)塵車間控制溫濕度的好選擇。
恒溫恒濕機(jī)具有以下優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn):
◆智能控制:全自動(dòng)控制器采用Siemens微電腦PLC可編程控制系統(tǒng),可獨(dú)立控制或集中控制,可配置通信接口,實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控。
◆控制精密:全自動(dòng)微電腦控制器所采用的動(dòng)態(tài)運(yùn)行控制方式可保證溫度控制范圍及精度:18℃~27℃±0.5℃或±1℃;濕度控制范圍及精度:45%~75%±2%或±5%RH;
◆高效寧?kù)o:機(jī)組采用谷輪Copeland高效柔性渦旋式壓縮機(jī)和低噪音高效風(fēng)機(jī),配合大面積高效率換熱器等部件優(yōu)化設(shè)計(jì)而成,并進(jìn)行特殊的消音處理,運(yùn)行高效寧?kù)o、制冷量更大、更省能源。
恒溫恒濕機(jī)系列產(chǎn)品具有自動(dòng)加熱、制冷、加濕、除濕空氣凈化、增補(bǔ)新風(fēng)的功能,分為自動(dòng)和手動(dòng)兩種形式。溫度、濕度的調(diào)節(jié)可同步進(jìn)行。以確保在設(shè)定的溫度濕度范圍內(nèi)保持室內(nèi)環(huán)境的恒溫恒濕的精確需求??蓾M足國(guó)防、科研單位實(shí)驗(yàn)室、數(shù)據(jù)中心、機(jī)房、酒窖、精密設(shè)備、制藥、玻璃真空鍍膜、高能電池原料儲(chǔ)存、糧食種子庫(kù)、顯影膠片庫(kù)及貴重文物等特殊物品的保存等特殊干燥工藝場(chǎng)合的要求,深受市場(chǎng)的歡迎。
恒溫恒濕機(jī)通過(guò)升溫、降溫、加濕、除濕,實(shí)現(xiàn)室內(nèi)溫濕度的恒定;主要由壓縮機(jī)、電加熱器、電極式蒸汽加濕器、連續(xù)式除濕執(zhí)行元件、連續(xù)式調(diào)速冷凝風(fēng)機(jī)等部件構(gòu)成。機(jī)組可以通過(guò)安裝送風(fēng)管、回風(fēng)管滿足大空間各個(gè)角落的溫濕度需求;并且針對(duì)需要新風(fēng)的場(chǎng)所,可以設(shè)計(jì)新風(fēng)管,滿足室內(nèi)新鮮空氣的需求;按冷卻方式可分為風(fēng)冷型(HF系列)和水冷型(HS系列);
HF系列風(fēng)冷型恒溫恒濕機(jī)技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào)單位HF9Q-IHF13D-IHF20D-IHF26D-IHF31D-IHF40D-IHF52D-IHF68D-I制冷量kw9.413.220.126.430.839.552.068.0kcal/h制熱量kw5.66.09.012.015.021.027.036.0kcal/h加濕量kg/h室外風(fēng)機(jī)功率kw0.350.470.520.751.101.06×21.50×22.20×2額定風(fēng)量m3/h輸入功率kw12.414.519..1045.5056.3290.87規(guī)格定制可按照使用現(xiàn)場(chǎng)要求進(jìn)行訂做規(guī)格:制冷量77.6kW~255.3kW、風(fēng)量:m3~m3的機(jī)型。
HS系列水冷型恒溫恒濕機(jī)技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào)單位HS11Q-IHS15D-IHS22D-IHS30D-IHS35D-IHS45D-IHS60D-IHS72D-I制冷量kw10.814.522.029.535.045.059.570.0kcal/h制熱量kw5.669.012.012.021.027.036.0kcal/h冷凝水水量t/h2.加濕量kg/h額定風(fēng)量m3/h輸入功率kw12.4013.218.424.329.237.948.467.8規(guī)格訂制可按照使用現(xiàn)場(chǎng)要求進(jìn)行訂做規(guī)格:制冷量89.5kW~305kW、風(fēng)量:m3~m3的機(jī)型。
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